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全新日本Fujikin富士金流量计 半导体用流量计
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全新日本Fujikin富士金流量计 半导体用流量计

规格参数1.多气体多量程(MG/MR)功能2.可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更,从10sccm至50slm3.高精度:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度***范围15-35℃)4.再现性:±0.2%F.S5.强耐腐蚀性

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    陕西 西安 雁塔区 陕西省西安市高新区唐延路49号万达广场2号楼1814
产品特性:测量精度准是否进口:否产地:日本
加工定制:是品牌:Fuji/富士型号:FCST1000(M)F)
类型:质量流量计测量范围:0-2000m3/h订货号:6FEW
货号:MFC12精度等级:±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)公称通径:3-24.5mm
适用介质:各种气体工作压力:10MPa工作温度:50℃
规格:齐全是否跨境货源:否


High Performance & High ReliabilityImproved Zero point StabilityInput/Output SignalAnalog/RS-485, DeviceNet鈩 and EtherCAT (future)Response time<1sec for any given set pointProgressive PIDSeal MaterialsBoth Metal Seal and Elastomer Seal are availableSpecification

Model NumberFCST1005锛圡锛塅/TM1005锛圡锛塅 
FCST1005锛圡锛塅D/TM1005锛圡锛塅D
FCST1030锛圡锛塅/TM1030锛圡锛塅 
FCST1030锛圡锛塅D/TM1030锛圡锛塅D
FCST1050锛圡锛塅/TM1050锛圡锛塅 
FCST1050锛圡锛塅D/TM1050锛圡锛塅D
Flow Range (N2 Equivalent)10,20,30,50, 
100,200,300,500SCCM 
1,2,3,5SLM
10,20,30SLM40,50SLM
Valve TypeN/O: Normally Open, N/C: Normally Closed
Controlled Volume Range2%锝***F.S.
Flow Accuracy卤1% F.S. (Accuracy guaranteed between 15 ~ 35潞C)
Setting Signal0.1 ~ 5VDC
Output Signal0 ~ 5VDC
Repeatability卤0.2%F.S.
Response Time鈮1sec
Required Pressure Difference50 ~ 300kPaNO 50 ~ 300kPa (6SLM ~ 10SLM) 
***00 ~ 300kPa (11SLM ~ 20SLM) 
NC 150 ~ 300kPa (21SLM ~ 30SLM) 
NC 50 ~ 300kPa ( 6SLM ~ 10SLM) 
NC 100 ~ 300kPa (11SLM ~ 30SLM)
200 ~ 300kPa
MAX Operating Pressure400kPaG
Proof Pressure1MPaG
Guaranteed Operating Temperature Range5 ~ 50鈩
External Leak RateMetal Seal锛 1脳10-11Pa銌峬3/sec He銆丒lastomer Seal锛 1脳10-7Pa銌峬3/sec He
Mounting OrientationCan be mounted in any orientation
Current ConsumptionT1000F +15VDC锛50mA銆-15VDC锛200mA 
T1000FD +11 ~ +24VDC銆5.5VA (5.5W)
CommunicationAnalog 0 ~ 5V DC, Digital: RS485 (Fujikin Protocol), DeviceNetTM
Wetted Surface Material316L SS, Magnetic Stainless Steel, PTFE
Seal MaterialMetal Seal: SUS316L, Elastomer Seal: Fluoro-Rubber (Chloroprene Rubber)
Actuator TypeSolenoid actuator
Surface FinishNone (Option: EP)
Fittings1/4鈥 UJR, 1/4鈥 F900, 1/4鈥 1.5 Wseal庐, 1/4鈥 1.125 Wseal庐, 1/4鈥 1.125 Cseal
Digital CommunicationRS-485, Standard transmission rate 38400bps, Maximum connected units 127

鈥籘his specification is for MFC.*1 At Fujikin, flow rates (SCCM, SLM) are converted to values at 0潞C, 101.3kPa abs (1atm) for calibration.*2 Reference temperature for temperature coefficient is 25潞C.*3 Response time on SPEC sheet is the time to reach from minimum flow rate to 卤2%F.S of setting flow rate.





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